3D共聚焦顯微鏡基本介紹
　　3D共聚焦顯微鏡是一種用于環境科學技術及資源科學技術領域的分析儀器

技術指標

　　光學和數碼變焦1-8X，移動分辨率10 nm、顯示分辨率1 nm，物鏡100x、50x、20x、10x、5x。　

主要功能

　　3D共聚焦顯微鏡可用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析。

　　3D共聚焦顯微鏡是一種用于機械工程領域的計量儀器

　　位移范圍：100mm×100mm×100mm；樣品表面結構：Ra＞9nm，Lc=2μm；*大樣品高度：100～345mm；*大樣品重量：30kg；*佳水平分辨率：0.44μm；*佳垂直分辨率：10nm；*大掃描高度：22.5mm；*大擴展視野范圍：10000mm2；*大單一方向掃描范圍：100mm；*小測量高度：0.01μm；*大測量高度：22.5mm；*大測量范圍：10000mm2；*大測量形貌長度：100mm；*小可重復性：0.001μm；*小測量粗糙度（Ra）：0.03μm；*小測量粗糙度（Sa）：0.015μm；*小測量半徑：1μm；*小測量垂直角度：20°。

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